«Люмас-30» представляет собой новый тип элементного анализатора, предназначенный для прямого анализа монолитных, тонкослойных и порошковых материалов: металлов, полупроводников и диэлектриков, а также объектов со смешанной слоистой структурой диэлектрик-металл, металл-полупроводник и диэлектрик-полупроводник (например, коррозионные пленки на поверхности металла).
«Люмас-30» представляет собой новый тип элементного анализатора, предназначенный для прямого анализа монолитных, тонкослойных и порошковых материалов: металлов, полупроводников и диэлектриков, а также объектов со смешанной слоистой структурой диэлектрик-металл, металл-полупроводник и диэлектрик-полупроводник (например, коррозионные пленки на поверхности металла).
Путем сочетания газоразрядной системы ионизации и времяпролетного механизма детектирования ионов удалось реализовать высокую эффективность распыления поверхности пробы, высокую скорость регистрации масс-спектров во всем диапазоне регистрируемых масс и высокую чувствительность для большинства элементов.
Принцип действия основан на процессах:
- высокоэффективной атомизации анализируемых образцов в результате катодного распыления в импульсном тлеющем разряде как проводящих, так и непроводящих электрический ток твердотельных материалов;
- импульсной ионизации атомов образца в плазме тлеющего разряда как в период свечения, так и в период послесвечения тлеющего разряда, что позволило достичь близких чувствительностей для широкого круга элементов;
- высокоскоростной (до 5000 спектров/с) регистрации времяпролетных спектров.
Достоинства прибора:
- возможность регистрации большого числа спектров за время распыления одной пробы, что позволяет улучшить отношение сигнал/шум за счет статистического усреднения зарегистрированных спектров;
- прямой анализ твердых проб, включая растворенные в пробах газы с высокоэкономичным расходом рабочего газа и вещества пробы за счет согласования во времени импульсной ионизации с времяпролетной регистрацией масс-спектра, что позволяет существенно снизить пределы обнаружения;
- высокая эффективность распыления и ионизации элементов пробы в импульсном разряде и, как следствие, низкие пределы обнаружения (50-200 ppb);
- большой динамический диапазон определяемых содержаний элементов (до 7 порядков величины), что на 2-3 порядка лучше пределов обнаружения других методов прямого анализа твердых проб;
- высокоэффективное подавление газовых компонент за счет временной дискриминации и использования водорода, как реакционного газа;
- широкий круг анализируемых объектов, включающий в себя, кроме металлов, диэлектрики и полупроводники. Эта возможность обеспечивается использованием коротких (1-80 мкс) импульсов разрядного тока, позволяющих распылять непроводящие и слабопроводящие электрический ток материалы;
- возможность прямого масс-спектрального анализа послойных неоднородностей самых разнообразных объектов (с послойным разрешением около 3 нм);
- возможность прямого масс-спектрального анализа многослойных тонкопленочных покрытий;
- отсутствие растворения в процедуре пробоподготовки.
Анализируемые объекты:
- металлы;
- полупроводниковые материалы;
- диэлектрики;
- объекты со смешанной слоистой структурой диэлектрик-металл, металл-полупроводник и диэлектрик-полупроводник (например, коррозионные пленки на поверхности металла);
- порошковые пробы.
Основные особенности «Люмас-30»
Импульсный разряд
Полый катод
Времяпролетный масс-спектрометр
Из масс-спектральных систем наиболее приспособленным для работы с импульсными источниками ионов является времяпролетный масс-спектрометр, поскольку в данном случае реализуется наибольшая эффективность детектирования ионов.
Процедура работы
Включение прибора и выход на рабочий режим осуществляется автоматически. Исследуемый образец может помещаться в прибор двумя способами. В одном варианте образец изготовляется в форме диска диаметром 10 мм и толщиной 3-6 мм. Он может быть сплошным или спрессованным в таблетку порошком. Образец укрепляется в качестве дна полого катода, изготовленного из особо чистого Mo, Nb или другого металла. В другом варианте в случае сплошного материала образец вытачивается в качестве полого катода.
В разрядную камеру, где укреплен образец, подается балластный газ Ar или смесь Ar, He и Н. За счет разницы давлений в разрядной камере и зоне дифференциальной откачки образующиеся ионы пробы вместе с балластным газом через отверстие в сэмплере попадают в зону дифференциальной откачки, а затем в ортогональную ионному пучку пролетную трубу с выталкивающими сетками. В качестве детектора используются две микроканальные пластины.
Разработанный интерфейс прибора позволяет оперативно производить замену образцов, используя устройство быстросъёмного держателя образца. После установки образца в течение 5 минут происходит откачка шлюза, после чего прибор готов к измерениям. Оператор выбирает время экспозиции в зависимости от требований к точности замера и переходит в режим измерения.
Полученная информация протоколируется и архивируется.
Для смены образца необходимо перекрыть шлюзовую камеру, извлечь держатель и заменить образец.
Для градуировки прибора используются соответствующие Государственные Стандартные Образцы (ГСО). Режим управления прибором и обработка и протоколирование результатов изображаются на дисплее монитора.
Режим управления и регистрации:
- автоматическая регистрация и обработка спектров со скоростью до 5000 спектров/с;
- автоматическое индицирование пиков по встроенной базе данных;
- графическое отображение состояния вакуумных агрегатов;
- автоматическое поддержание заданного давления в ионном источнике;
- мониторинг уровня давления по трем манометрам одновременно;
- графический контроль амплитуды 8 пиков в реальном масштабе времени;
- системная установка номиналов питания и регистрации спектров.
Режим обработки и протоколирования:
- графический выбор набора контролируемых элементов;
- автоматическая обработка результатов измерения концентраций по известным калибровачным кривым;
- автоматичекое протоколирование и запись результатов эксперимента;
- возможность пополнения базы данных.
Области применения
Атомная промышленность:
Элементный и изотопный анализ радионуклидов, продуктов распада, отходов переработки ядерного топлива.
Медицина, физика, светотехника, электроника, научные исследования:
Изотопный анализ при производстве изотопно-чистых материалов.
Микроэлектроника:
Анализ сверхмалых содержаний примесей в полупроводниковых материалах (Si, Ge, AsGa…).
Производство особо чистых материалов:
Элементный анализ содержания примесей при производстве металлов, оптических стекол, оптоволокна, сплавов, напыленных поверхностей.
Металлургия, нефтехимия:
Элементный анализ при производстве сплавов цветных металлов и сталей специального назначения с нормируемым содержанием микропримесей (в том числе газообразных).
Химия, микроэлектроника, оптика:
Химический синтез слоистых структур для производства полупроводниковых, оптоволоконных и каталитических материалов.
- Добавить в корзину:
- Выберите товары и добавьте их в корзину;
- Заполните обязательные поля (ФИО, телефон, комментарий), подтвердите согласие на обработку данных, и нажмите «Отправить»;
- Менеджер свяжется для подтверждения и уточнения деталей;
- Купить в один клик:
- Нажмите «Купить в один клик» возле выбранного товара;
- Заполните форму и отправьте заявку;
- Менеджер свяжется для подтверждения заказа;
- Предзаказ:
- Доступно для определенных товаров;
- Нажмите «Подать заявку», заполните форму и отправьте заявку;
- Менеджер уточнит детали;
- Для юридических лиц:
- Полная предоплата;
- Возможна предоплата 50% от общей стоимости заказа (по согласованию);
- Для бюджетных организаций:
- Предоплата в размере 30% от общей стоимости заказа;
- Для физических лиц:
- На данный момент сотрудничество не осуществляется;
- Банковской картой;
- Переводом на расчетный счет;
Минимальной суммы заказа нет. Можно оформить покупку на любую сумму.
Специальные условия для клиентов:Предусмотрены выгодные и удобные условия, направленные на удовлетворение потребностей каждого клиента.
Скидки и акции:Действуют при выполнении определенных условий, предоставляя возможность экономии.
*Финальная стоимость товара зависит от курса валют.- Доставка осуществляется по всей России через надежные транспортные компании;
- Выбор транспортной компании согласовывается с заказчиком;
- Стоимость и сроки доставки рассчитываются при формировании коммерческого предложения;
- Адрес склада: Санкт-Петербург, ул. Сабировская, 41;
- Необходимо согласовать дату и время самовывоза с менеджером;
Email для вопросов по поставке оборудования: info@proflabspb.ru